6月27日，半導(dǎo)體電子材料咨詢公司TECHCET報告稱，2021年，ALD/CVD前驅(qū)體市場總額增長了21%，達到13.9億美元，預(yù)計2022年將增長12%。2022年的前驅(qū)體市場將超過15.6億美元，原因是受小于7nm邏輯器件產(chǎn)量增加和3D NAND器件堆疊層數(shù)增加的驅(qū)動，行業(yè)整體增長強勁。DRAM制造向EUV光刻的過渡也將帶來前驅(qū)體收入增加的機會。
TECHCET高級技術(shù)分析師Jonas Sundqvist表示：“ALD和CVD是一個材料和化學(xué)成分豐富的細分行業(yè)，具有重大的發(fā)展努力，增長前景強勁，對新材料的需求也很大，同時滿足成本和性能的新制造解決方案將依賴ALD前驅(qū)體材料?！?/span>
新材料和相關(guān)工藝技術(shù)正受到器件設(shè)計變化的推動。對于先進的邏輯，晶體管需要新的前體來形成高k柵介質(zhì)和金屬柵極材料等等。
DRAM存儲單元繼續(xù)追求更高k值的電容器。而先進的設(shè)備，需要改進的互連布線、絕緣體以及新的或更多的介質(zhì)，以支持EUV和先進的ArF光刻。
由于材料的尺寸不斷縮放，特別是ALD沉積的新材料，新的挑戰(zhàn)仍然存在。在過去的5年里，區(qū)域選擇性沉積已經(jīng)成為一種趨勢，越來越多的研發(fā)機構(gòu)將這種方法應(yīng)用到未來的器件中。